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靜壓導軌是精密超精密加工機床的重要功能單元，液壓站是靜壓導軌正常運行的必要輔助單元。為了保持靜壓導軌的高精度，液壓站必須能夠為靜壓導軌提供壓力非常穩(wěn)定的潤滑油。設(shè)計了一種高精度靜壓導軌液壓站，采用變頻電機驅(qū)動精密齒輪泵供給潤滑油。閉環(huán)反饋調(diào)節(jié)器用于控制潤滑油的穩(wěn)定輸出。實測表明，該液壓站輸出壓力穩(wěn)定精度可達0.05%，應(yīng)用于超精密機床靜壓導軌取得了良好的效果。